二次离子质谱(SIMS)技术是什▓么?
二次离子质谱(SIMS)是一种▅分析技术,可检测极低⊙浓度的掺杂剂和杂质。 它可以在几纳米到几十微米的深度①范围内提供元素深度分布。 SIMS通过用聚焦的初级离子束溅射样品表面来工作。在溅射期间形成的二次离子被提取并使用︾质谱仪分析。
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2022-06-14