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二次离子质谱SIMS是一种检测固体表面及近表面的成分信息的♀技术，几乎能够分析任何真空下稳定的固体，其不仅能够做到从H到U的全↘元素及同位素分析，同时还可以分析原子团和官能团，并可以对固体进行微区分析成像和深度动态剖析。

信息中心 2022-06-14

二次离子质谱（SIMS）是一种分析技术，可检测极低浓度的掺杂剂和杂质。它可以在几纳米到几十微米的深度范围内提供元素深度分布。 SIMS通过用聚焦的初级离子束溅射样品表面来工作。在溅射期间形成的二次离子被提取并使用质谱仪分析。

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对掺杂剂和杂质具有出色的检测灵敏度，对大多数元素具有ppma或更低的检测灵敏度，深度剖面具有出色的检测极限和深度分辨率，小面积分析（10μm或更大），出色的动态范围（高达7数量级），在¤某些应用中，主要元素组成可能。

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常规检测项目周期一般是3个工作日，方法开发/验证、以及加急项目请来电咨询：（0512）65101962。以上仅供参考，以具体需求和实际情况为准。

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